所謂光柵，簡單地說，就是由大量等寬等間距的平行狹縫所組成的光學器件。光柵傳感器是利用光柵的莫爾條紋現(xiàn)象實現(xiàn)幾何量測量的裝置。光柵傳感器以其高精度、高分辨率和大動態(tài)范圍的優(yōu)點，廣泛應用于靜態(tài)測量、動態(tài)測量和自動化等領(lǐng)域 。光柵式數(shù)字傳感器廣泛用于測量位移有關(guān)的非電物理量。
光柵式數(shù)字傳感器的分類：光柵是由很多等間距的透光縫隙和不透光的刻線均勻相間排列構(gòu)成的光電開關(guān)的光電器件。按其原理和用途，它又可分為物理光柵和計量光柵。物理光柵是利用光的衍射現(xiàn)象制造的，主要用于光亦分析和光波長等量的測量。講師光柵主要利用莫爾現(xiàn)象，測量方法長度、角度、速度、加速度、振動動等物理量。計量光柵按應用范圍不同又有透射光柵和反射光柵兩種，具體制作者時又可制作者成線位移的長光柵和角位移的圓光柵。按光柵的表面結(jié)構(gòu)，又可分為幅值光柵和相位閃輝光柵等。幅柵是利用照相復制工藝加工使柵線與縫隙為黑白相間結(jié)構(gòu)，故又稱為黑白光柵。相位光柵的橫斷面呈鋸齒狀，常用刻劃工藝加工。除了上述光柵外，目前還研制了激光全自習光柵和偏大振光柵等新型光柵。磁柵是一種磁電轉(zhuǎn)換器，其工作原理類似錄音帶。 |
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